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在塑料薄膜上印刷形成的Al布線

　　日本產業(yè)技術綜合研究所（產綜研）在塑料薄膜上使用鋁（Al）等易氧化的金屬，成功地以印刷技術形成了電極和布線。該技術是使用金屬膠形成印刷圖案后，為使金屬粒子凝聚，以力學能量代替熱能而實現(xiàn)的。另外，因加工溫度降低到150℃以下，可以通用的PET薄膜作底板。用此次的印刷技術，還成功地在薄膜上形成了基于銅(Cu)、鋅(Zn)以及錫(Sn)的金屬圖案。 

　　此前印刷形成布線和電極時，使用金屬膠形成印刷圖案后，需要用400℃以上的高溫加熱燒結使金屬粒子凝聚，以降低金屬圖案的電阻。然而，Al 等高溫下容易氧化的金屬布線，會因為加熱工序而氧化使電阻值增大。因此，印刷形成電極和布線圖案比較困難，通常需要進行真空處理。印刷用的金屬材料僅限于銀（Ag）、金（Au）以及碳（C）等不易被氧化的材料。 

　　與此同時，產綜研還開發(fā)出改變了金屬成分的合金膠，能夠印刷形成具各種工作函數(shù)的金屬電極圖案。由印刷技術而形成的元件，電極的工作函數(shù)對于控制活性層和電極間電荷的移動性能很重要。此次，通過調節(jié)金屬成分，使用控制工作函數(shù)的電極，在薄膜上印刷形成二極管。該二極管的電極材料使用Ag和 Al，都是以此次開發(fā)的印刷技術形成的?；钚詫邮褂酶叻肿影雽w，通過鑄造方法形成薄膜。這樣，因制成的二極管表現(xiàn)出良好的特性，證實以印刷技術形成的各種工作函數(shù)的電極的功能有效。 

　　產綜研期待將該技術用于柔性顯示器和柔性太陽能電池等柔性器件的制造。（記者：吉澤 惠）