科智立經(jīng)深入研發(fā)實(shí)驗(yàn)，開(kāi)發(fā)了適用于管理半導(dǎo)體晶圓的RFID放大器單元讀取器，廣州某光掩膜公司的晶圓盒儲(chǔ)存柜使用的便是科智立RFID讀取器，將RFID載體讀寫(xiě)器部署在儲(chǔ)存柜每層支撐板下方，當(dāng)晶圓盒放入到儲(chǔ)存柜的對(duì)位柱時(shí)，紅外射線觸發(fā)RFID載體讀寫(xiě)器進(jìn)入識(shí)別狀態(tài)，立即識(shí)別晶圓盒上的CID載體，系統(tǒng)即可判斷晶圓盒放置位置正確與否、判斷晶圓盒是否在柜等，結(jié)合儲(chǔ)存柜的溫濕度、氧氣氮?dú)獾葌鞲衅鳎憧蓪?shí)現(xiàn)晶圓盒的環(huán)境管理、柜位管理與信息化管理。
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