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高溫度穩(wěn)定性
日本研發(fā)新型具有高溫度穩(wěn)定性的氮化鎵MEMS諧振器
據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，日本世界頂級計(jì)劃材料納米結(jié)構(gòu)學(xué)國際研究中心(WPI-MANA)研究團(tuán)隊(duì)展示了一種具有高溫度穩(wěn)定性的氮化鎵(GaN)MEMS諧振器，該諧振器具有高頻穩(wěn)定性、高品質(zhì)(Q)因子、與硅基IC技術(shù)大規(guī)模集成的潛力。
07/19
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