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四信: “連” 接未來,重構(gòu)智能制造通信新基建
09/19
光刻技術(shù)
上海微系統(tǒng)所研發(fā)3D電子束光刻技術(shù)可用于智能仿生感知
電子束光刻精度極高,通常是二維微納加工獲得最小尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工具,如何把電子束光刻的能力拓展到真三維微納加工是研究的努力方向。
09/02
新型光刻技術(shù)解決硅材料脆性難題,MEMS機(jī)械性能極限有望突破
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,硅材料從大自然常見的沙子中取材,成本低、產(chǎn)量大,因此被廣泛用作MEMS器件的襯底材料,并被譽(yù)為信息時(shí)代的“骨干”材料。
06/22
歐盟研發(fā)納米結(jié)構(gòu)傳感器陣列技術(shù)獲突破
歐盟研發(fā)納米結(jié)構(gòu)傳感器陣列技術(shù)獲突破,其利用最先進(jìn)的納米壓印光刻技術(shù),整合卷到卷生產(chǎn)制造工藝,實(shí)現(xiàn)了低成本大批量制造生產(chǎn)大面積NSA的工業(yè)流程設(shè)計(jì)和設(shè)備樣機(jī)開發(fā),奠定了NSA進(jìn)一步商業(yè)化推廣應(yīng)用的基礎(chǔ)。
12/04