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納米森林
  • 通過使用等離子體轟擊聚合物工藝并結(jié)合金屬納米顆粒的磁控濺射工藝，得到了一種對(duì)偏振和入射角不敏感的寬譜高吸收復(fù)合納米森林結(jié)構(gòu)，通過將該結(jié)構(gòu)原位集成于MEMS熱電堆傳感器上實(shí)現(xiàn)了器件輸出電壓的顯著提升。
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  • 濕度的監(jiān)測(cè)與控制在氣象、農(nóng)業(yè)、汽車、醫(yī)藥等行業(yè)具有重要意義。隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，基于MEMS工藝的電容式濕度傳感器因其在寬相對(duì)濕度范圍內(nèi)具有較好的靈敏度和較好的抗干擾能力而受到廣泛關(guān)注……
    05/25