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據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，CEA-Leti近日發(fā)布了全球首款工作頻率達(dá)到50kHz的MEMS & NEMS陀螺儀，超越了在惡劣環(huán)境下工作的常規(guī)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))陀螺儀振動(dòng)頻率。

一組研究人員為基于LiDAR的傳感器提出一種新穎的設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)既價(jià)格合理，且功率低。該傳感器依靠微機(jī)電（MEMS）反射鏡的集合來實(shí)現(xiàn)高效率，僅需由9伏電池供電。

高性能耳溫槍、額溫槍等非接觸式測(cè)溫工具是當(dāng)前對(duì)大規(guī)模人員進(jìn)行發(fā)熱篩查的主要工具之一，其核心部件MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))紅外溫度傳感器長(zhǎng)期主要依賴進(jìn)口。

據(jù)外媒報(bào)道，賓厄姆頓大學(xué)、紐約州立大學(xué)的一個(gè)機(jī)械工程師團(tuán)隊(duì)正在研究一種革命性的微型開關(guān)，該技術(shù)的研究發(fā)現(xiàn)了另一種應(yīng)用。在找到一種可以更好控制的新型MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）后，研究人員利用這些知識(shí)來構(gòu)建可以改善許多日常設(shè)備的氣壓傳感器。

MEMS全稱MicroElectromechanical System，微機(jī)電系統(tǒng)。MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）*初大量用于汽車安全氣囊，而后以MEMS傳感器的形式被大量應(yīng)用在汽車的各個(gè)領(lǐng)域，隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，以及應(yīng)用終端“輕、薄、短、小”的特點(diǎn)，對(duì)小體積高性能的MEMS產(chǎn)品需求增勢(shì)迅猛，消費(fèi)電子、醫(yī)療等領(lǐng)域也大量出現(xiàn)了MEMS產(chǎn)品的身影。例如，*近火爆的做胃鏡的無痛小膠囊，5G路燈，骨傳感耳機(jī)，智能家居中洗衣機(jī)與晾衣架之間的智能系統(tǒng)，電梯維護(hù)等等，MEMS傳感器已經(jīng)走入“尋常百姓家”。

近日，東京工業(yè)大學(xué)校長(zhǎng)益一哉等人與NTT尖端技術(shù)公司利用包含多個(gè)金屬層的積層金屬結(jié)構(gòu)，成功開發(fā)出具有超低噪聲和超高靈敏度的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）加速度傳感器。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，美國(guó)柏恩Bourns全球知名電子組件領(lǐng)導(dǎo)制造供貨商，近日發(fā)布進(jìn)階版環(huán)境傳感器系列，其中包含一個(gè)新版壓力傳感器。Bourns BPS140系列壓力傳感器基于最先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)，在微型封裝尺寸下提供極其精確的狀態(tài)讀數(shù)。

電子信息技術(shù)的發(fā)展極大促進(jìn)了人類生活水平的提升和傳統(tǒng)社會(huì)生活方式的變革。同時(shí)，人們對(duì)于美好生活的不斷追求，也拉動(dòng)了技術(shù)的發(fā)展進(jìn)步。位置信息是當(dāng)今人類活動(dòng)所需的基本信息要素。在移動(dòng)定位方面，以衛(wèi)星導(dǎo)航為代表的定位技術(shù)是眾多技術(shù)需求中的一個(gè)典型。近年來，無線通信技術(shù)、微機(jī)電技術(shù)正在發(fā)生迅猛變化，催生出了基于不同應(yīng)用場(chǎng)景的新型定位技術(shù)，如基于紅外、超聲、藍(lán)牙、WiFi、射頻識(shí)別(RFID)、無線傳感器網(wǎng)絡(luò)(WSN)等定位方法。

2023年全球MEMS市場(chǎng)規(guī)?？蛇_(dá)310億美元，比起2017年的120億美元，年復(fù)合成長(zhǎng)率達(dá)17.5%。其中，消費(fèi)性領(lǐng)域于2023年將占據(jù)7成的市場(chǎng)占有率。

2018年以來，截至目前，世界經(jīng)濟(jì)持續(xù)復(fù)蘇，國(guó)內(nèi)經(jīng)濟(jì)平穩(wěn)運(yùn)行，推動(dòng)我國(guó)外貿(mào)進(jìn)出口較快增長(zhǎng)。據(jù)海關(guān)統(tǒng)計(jì)，上半年我國(guó)貨物貿(mào)易進(jìn)出口總值14.12萬億元人民幣，比去年同期(下同)增長(zhǎng)7.9%。其中，出口7.51萬億元人民幣，增長(zhǎng)4.9%;進(jìn)口6.61萬億元，增長(zhǎng)11.5%;貿(mào)易順差9013.2億元，收窄26.7%。

物聯(lián)網(wǎng)的概念早在上世紀(jì)九十年就已經(jīng)被正式提出，只是由于受當(dāng)時(shí)的技術(shù)所限，其應(yīng)用并沒有達(dá)到人們的預(yù)期。近年來，伴隨著微機(jī)電系統(tǒng)、低能耗傳感器等硬件技術(shù)的進(jìn)步，物聯(lián)網(wǎng)獲得了快速的發(fā)展。而接下來5G技術(shù)的投入使用，也將為各類物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用提供強(qiáng)大的網(wǎng)絡(luò)支持能力，加速推動(dòng)萬物互聯(lián)。

盡管今年面對(duì)國(guó)際金融危機(jī)的威脅，但由于用戶對(duì)加速度傳感器接受度的增加，MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))加速度傳感器整體市場(chǎng)保持增長(zhǎng)勢(shì)頭。

光纖傳感器、紅外傳感器技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，超高頻智能卡、微波無源無線射頻識(shí)別(RFID)、北斗芯片技術(shù)水平大幅提升，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，物聯(lián)網(wǎng)中間件平臺(tái)、多功能便捷式智能終端研發(fā)取得突破。

微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro Mechanical System)是指尺寸在幾毫米乃至更小的傳感器裝置，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)，是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。簡(jiǎn)單理解， MEMS 就是將傳統(tǒng)傳感器的機(jī)械部件微型化后，通過三維堆疊技術(shù)，例如三維硅穿孔 TSV 等技術(shù)把器件固定在硅晶元(wafer)上，最后根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)合采用特殊定制的封裝形式， 最終切割組裝而成的硅基傳感器。 受益于普通傳感器無法企及的 IC 硅片加工批量化生產(chǎn)帶來的成本優(yōu)勢(shì)， MEMS 同時(shí)又具備普通傳感器無法具備的微型化和高集成度。

隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、激光技術(shù)、高科技材料等的技術(shù)進(jìn)步，傳感器的研發(fā)呈現(xiàn)多樣化的趨勢(shì)，有的利用生物材料模擬人類皮膚，創(chuàng)新傳感器的觸覺;有的利用MEMS技術(shù)研發(fā)微型智能化傳感器，從而有利于復(fù)雜系統(tǒng)的集成;有的利用高精度的激光技術(shù)創(chuàng)造激光雷達(dá)，從而利于系統(tǒng)實(shí)時(shí)感知周邊障礙物與環(huán)境等等。