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本文在MEMS工藝制備的電極型免疫微傳感芯片的基礎(chǔ)上,設(shè)計和制備微反應(yīng)室以及微進(jìn)出樣溝道,利用SU-8膠和PDMS等材料搭建微流體系統(tǒng),用以結(jié)合蠕動泵完成敏感膜固定化及進(jìn)樣和清洗等免疫檢測操作過程,消除人為干擾,改善生物敏感膜制備以及免疫反應(yīng)環(huán)境,探索提高生物敏感膜固化的穩(wěn)定性和一致性,為提高免疫微傳感器檢測一致性的研究積累方法和經(jīng)驗。