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微機電系統(tǒng)
  • 由于磁性傳感技術不會受到灰塵、污垢、油脂、振動以及濕度的影響，因此磁傳感器在工業(yè)設備和電子儀器中有著廣泛的應用，如磁共振成像、生產的自動控制、流程工業(yè)、煤礦勘探、電流測量、缺陷定位和鐵磁材料剩余應力檢測等方面。為了滿足不同場合的應用，已根據不同傳感原理制備了相應的磁傳感器，常見的有超導量子干涉裝置(SQUID) 、磁通門磁力計、霍爾效應傳感器、各向異性磁阻(AMR)傳感器、微機電系統(tǒng)(MEMS)磁傳感器。
  • 針對MEMS材料、設計、制造、檢測、工藝、裝備與系統(tǒng)集成等關鍵技術，建立MEMS醫(yī)療電子研發(fā)體系和產業(yè)化基地，圍繞醫(yī)療電子開發(fā)出若干小批量、多品種、高質量MEMS器件及微系統(tǒng)，推動MEMS的可持續(xù)發(fā)展和未來產業(yè)化的形成打下良好的基礎。
  • 微系統(tǒng)：創(chuàng)新研發(fā)合作模式 建設良好生態(tài)環(huán)境,工業(yè)和信息化部電子科技委專用裝備組微系統(tǒng)原來是指MEMS(微機電系統(tǒng))，是微電子技術從二維向三維發(fā)展。